세계의 BOE 에칭액 시장예측 2025년-2031년

■ 영문 제목 : Global BOE Etchant Market Growth 2025-2031

LP Information가 발행한 조사보고서이며, 코드는 LPK23JU0195 입니다.■ 상품코드 : LPK23JU0195
■ 조사/발행회사 : LP Information
■ 발행일 : 2025년 3월
■ 페이지수 : 104
■ 작성언어 : 영어
■ 보고서 형태 : PDF
■ 납품 방식 : E메일
■ 조사대상 지역 : 글로벌
■ 산업 분야 : 화학&재료
■ 판매가격 / 옵션 (부가세 10% 별도)
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LPI (LP Information)의 최신 조사 보고서는 BOE 에칭액의 과거 판매실적을 살펴보고 2024년의 BOE 에칭액 판매실적을 검토하여 2025년부터 2031년까지 예상되는 BOE 에칭액 판매에 대한 지역 및 시장 세그먼트별 포괄적인 분석을 제공합니다. 세계의 BOE 에칭액 시장규모는 2024년 xxx백만 달러에서 연평균 xx% 성장하여 2031년에는 xxx백만 달러에 달할 것으로 예측되고 있습니다. 본 보고서의 시장규모 데이터는 무역 전쟁 및 러시아-우크라이나 전쟁의 영향을 반영했습니다.
본 보고서는 BOE 에칭액의 세계시장에 관해서 조사, 분석한 자료로서, 기업별 시장 점유율, 지역별 시장규모 (미주, 미국, 캐나다, 멕시코, 브라질, 아시아, 중국, 일본, 한국, 동남아시아, 인도, 유럽, 독일, 프랑스, 영국, 이탈리아, 러시아, 중동/아프리카, 이집트, 남아프리카, 터키, 중동GCC국 등), 시장동향, 판매/유통업자/고객 리스트, 시장예측 (2026년-2031년), 주요 기업동향 (기업정보, 제품, 판매량, 매출, 가격, 매출총이익) 등의 정보를 포함하고 있습니다.
또한, 주요지역의 종류별 시장규모 (BOE 6:1, BOE 7:1, 기타)와 용도별 시장규모 (반도체, 평면 패널 디스플레이, 태양 에너지, 기타) 데이터도 수록되어 있습니다.

***** 목차 구성 *****

보고서의 범위

경영자용 요약
- 세계의 BOE 에칭액 시장규모 2020년-2031년
- 지역별 BOE 에칭액 시장분석
- 종류별 BOE 에칭액 시장규모 2020년-2025년 (BOE 6:1, BOE 7:1, 기타)
- 용도별 BOE 에칭액 시장규모 2020년-2025년 (반도체, 평면 패널 디스플레이, 태양 에너지, 기타)

기업별 BOE 에칭액 시장분석
- 기업별 BOE 에칭액 판매량
- 기업별 BOE 에칭액 매출액
- 기업별 BOE 에칭액 판매가격
- 주요기업의 BOE 에칭액 생산거점, 판매거점
- 시장 집중도 분석

지역별 분석
- 지역별 BOE 에칭액 판매량 2020년-2025년
- 지역별 BOE 에칭액 매출액 2020년-2025년

미주 시장
- 미주의 BOE 에칭액 시장규모 2020년-2025년
- 미주의 BOE 에칭액 시장규모 : 종류별
- 미주의 BOE 에칭액 시장규모 : 용도별
- 미국 BOE 에칭액 시장규모
- 캐나다 BOE 에칭액 시장규모
- 멕시코 BOE 에칭액 시장규모
- 브라질 BOE 에칭액 시장규모

아시아 시장
- 아시아의 BOE 에칭액 시장규모 2020년-2025년
- 아시아의 BOE 에칭액 시장규모 : 종류별
- 아시아의 BOE 에칭액 시장규모 : 용도별
- 중국 BOE 에칭액 시장규모
- 일본 BOE 에칭액 시장규모
- 한국 BOE 에칭액 시장규모
- 동남아시아 BOE 에칭액 시장규모
- 인도 BOE 에칭액 시장규모

유럽 시장
- 유럽의 BOE 에칭액 시장규모 2020년-2025년
- 유럽의 BOE 에칭액 시장규모 : 종류별
- 유럽의 BOE 에칭액 시장규모 : 용도별
- 독일 BOE 에칭액 시장규모
- 프랑스 BOE 에칭액 시장규모
- 영국 BOE 에칭액 시장규모

중동/아프리카 시장
- 중동/아프리카의 BOE 에칭액 시장규모 2020년-2025년
- 중동/아프리카의 BOE 에칭액 시장규모 : 종류별
- 중동/아프리카의 BOE 에칭액 시장규모 : 용도별
- 이집트 BOE 에칭액 시장규모
- 남아프리카 BOE 에칭액 시장규모
- 중동GCC BOE 에칭액 시장규모

시장의 성장요인, 과제, 동향
- 시장의 성장요인, 기회
- 시장의 과제, 리스크
- 산업 동향

제조원가 구조 분석
- 원재료 및 공급업체
- BOE 에칭액의 제조원가 구조 분석
- BOE 에칭액의 제조 프로세스 분석
- BOE 에칭액의 산업체인 구조

마케팅, 유통업체, 고객
- 판매채널
- BOE 에칭액의 유통업체
- BOE 에칭액의 주요 고객

지역별 BOE 에칭액 시장 예측
- 지역별 BOE 에칭액 시장규모 예측 2026년-2031년
- 미주 지역 예측
- 아시아 지역 예측
- 유럽 지역 예측
- 중동/아프리카 지역 예측
- BOE 에칭액의 종류별 시장예측 (BOE 6:1, BOE 7:1, 기타)
- BOE 에칭액의 용도별 시장예측 (반도체, 평면 패널 디스플레이, 태양 에너지, 기타)

주요 기업 분석 (기업정보, 제품, 판매량, 매출, 가격, 매출총이익)
- Stella Chemifa, Zhejiang Kaisn, FDAC, Zhejiang Morita, Soulbrain, KMG Chemicals, Jiangyin Jianghua, Suzhou Crystal Clear Chemical, Fujian Shaowu Yongfei, Suzhou Boyang Chemical, Jiangyin Runma, Puritan Products(Avantor), Columbus Chemical Industries, Transene Company

조사의 결론
■ 보고서 개요

BOE Etchant or Buffered oxide etch (BOE), is a wet etchant used in microfabrication. Its primary use is in etching thin films of silicon dioxide (SiO2) or silicon nitride (Si3N4). It is a mixture of a buffering agent, such as ammonium fluoride (NH4F), and hydrofluoric acid (HF). Concentrated HF (typically 49% HF in water) etches silicon dioxide too quickly for good process control and also peels photoresist used in lithographic patterning. Buffered oxide etch is commonly used for more controllable etching.
LPI (LP Information)’ newest research report, the “BOE Etchant Industry Forecast” looks at past sales and reviews total world BOE Etchant sales in 2024, providing a comprehensive analysis by region and market sector of projected BOE Etchant sales for 2025 through 2031. With BOE Etchant sales broken down by region, market sector and sub-sector, this report provides a detailed analysis in US$ millions of the world BOE Etchant industry.
This Insight Report provides a comprehensive analysis of the global BOE Etchant landscape and highlights key trends related to product segmentation, company formation, revenue, and market share, latest development, and M&A activity. This report also analyzes the strategies of leading global companies with a focus on BOE Etchant portfolios and capabilities, market entry strategies, market positions, and geographic footprints, to better understand these firms’ unique position in an accelerating global BOE Etchant market.
This Insight Report evaluates the key market trends, drivers, and affecting factors shaping the global outlook for BOE Etchant and breaks down the forecast by type, by application, geography, and market size to highlight emerging pockets of opportunity. With a transparent methodology based on hundreds of bottom-up qualitative and quantitative market inputs, this study forecast offers a highly nuanced view of the current state and future trajectory in the global BOE Etchant.
The global BOE Etchant market size is projected to grow from US$ million in 2024 to US$ million in 2031; it is expected to grow at a CAGR of % from 2025 to 2031.
United States market for BOE Etchant is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2031, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
China market for BOE Etchant is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2031, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
Europe market for BOE Etchant is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2031, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
Global key BOE Etchant players cover Stella Chemifa, Zhejiang Kaisn, FDAC, Zhejiang Morita, Soulbrain, KMG Chemicals, Jiangyin Jianghua, Suzhou Crystal Clear Chemical and Fujian Shaowu Yongfei, etc. In terms of revenue, the global two largest companies occupied for a share nearly % in 2024.
This report presents a comprehensive overview, market shares, and growth opportunities of BOE Etchant market by product type, application, key manufacturers and key regions and countries.

[Market Segmentation]
Segmentation by type
BOE 6:1
BOE 7:1
Others
Segmentation by application
Semiconductor
Flat Panel Display
Solar Energy
Others
This report also splits the market by region:
Americas
United States
Canada
Mexico
Brazil
APAC
China
Japan
Korea
Southeast Asia
India
Australia
Europe
Germany
France
UK
Italy
Russia
Middle East & Africa
Egypt
South Africa
Israel
Turkey
GCC Countries
The below companies that are profiled have been selected based on inputs gathered from primary experts and analyzing the company’s coverage, product portfolio, its market penetration.
Stella Chemifa
Zhejiang Kaisn
FDAC
Zhejiang Morita
Soulbrain
KMG Chemicals
Jiangyin Jianghua
Suzhou Crystal Clear Chemical
Fujian Shaowu Yongfei
Suzhou Boyang Chemical
Jiangyin Runma
Puritan Products(Avantor)
Columbus Chemical Industries
Transene Company

[Key Questions Addressed in this Report]
What is the 10-year outlook for the global BOE Etchant market?
What factors are driving BOE Etchant market growth, globally and by region?
Which technologies are poised for the fastest growth by market and region?
How do BOE Etchant market opportunities vary by end market size?
How does BOE Etchant break out type, application?
What are the influences of trade war and Russia-Ukraine war?

■ 보고서 목차

1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global BOE Etchant Annual Sales 2020-2031
2.1.2 World Current & Future Analysis for BOE Etchant by Geographic Region, 2020, 2024 & 2031
2.1.3 World Current & Future Analysis for BOE Etchant by Country/Region, 2020, 2024 & 2031
2.2 BOE Etchant Segment by Type
2.2.1 BOE 6:1
2.2.2 BOE 7:1
2.2.3 Others
2.3 BOE Etchant Sales by Type
2.3.1 Global BOE Etchant Sales Market Share by Type (2020-2025)
2.3.2 Global BOE Etchant Revenue and Market Share by Type (2020-2025)
2.3.3 Global BOE Etchant Sale Price by Type (2020-2025)
2.4 BOE Etchant Segment by Application
2.4.1 Semiconductor
2.4.2 Flat Panel Display
2.4.3 Solar Energy
2.4.4 Others
2.5 BOE Etchant Sales by Application
2.5.1 Global BOE Etchant Sale Market Share by Application (2020-2025)
2.5.2 Global BOE Etchant Revenue and Market Share by Application (2020-2025)
2.5.3 Global BOE Etchant Sale Price by Application (2020-2025)
3 Global BOE Etchant by Company
3.1 Global BOE Etchant Breakdown Data by Company
3.1.1 Global BOE Etchant Annual Sales by Company (2020-2025)
3.1.2 Global BOE Etchant Sales Market Share by Company (2020-2025)
3.2 Global BOE Etchant Annual Revenue by Company (2020-2025)
3.2.1 Global BOE Etchant Revenue by Company (2020-2025)
3.2.2 Global BOE Etchant Revenue Market Share by Company (2020-2025)
3.3 Global BOE Etchant Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers BOE Etchant Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers BOE Etchant Product Location Distribution
3.4.2 Players BOE Etchant Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2020-2025)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Mergers & Acquisitions, Expansion
4 World Historic Review for BOE Etchant by Geographic Region
4.1 World Historic BOE Etchant Market Size by Geographic Region (2020-2025)
4.1.1 Global BOE Etchant Annual Sales by Geographic Region (2020-2025)
4.1.2 Global BOE Etchant Annual Revenue by Geographic Region (2020-2025)
4.2 World Historic BOE Etchant Market Size by Country/Region (2020-2025)
4.2.1 Global BOE Etchant Annual Sales by Country/Region (2020-2025)
4.2.2 Global BOE Etchant Annual Revenue by Country/Region (2020-2025)
4.3 Americas BOE Etchant Sales Growth
4.4 APAC BOE Etchant Sales Growth
4.5 Europe BOE Etchant Sales Growth
4.6 Middle East & Africa BOE Etchant Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas BOE Etchant Sales by Country
5.1.1 Americas BOE Etchant Sales by Country (2020-2025)
5.1.2 Americas BOE Etchant Revenue by Country (2020-2025)
5.2 Americas BOE Etchant Sales by Type
5.3 Americas BOE Etchant Sales by Application
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC BOE Etchant Sales by Region
6.1.1 APAC BOE Etchant Sales by Region (2020-2025)
6.1.2 APAC BOE Etchant Revenue by Region (2020-2025)
6.2 APAC BOE Etchant Sales by Type
6.3 APAC BOE Etchant Sales by Application
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe BOE Etchant by Country
7.1.1 Europe BOE Etchant Sales by Country (2020-2025)
7.1.2 Europe BOE Etchant Revenue by Country (2020-2025)
7.2 Europe BOE Etchant Sales by Type
7.3 Europe BOE Etchant Sales by Application
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa BOE Etchant by Country
8.1.1 Middle East & Africa BOE Etchant Sales by Country (2020-2025)
8.1.2 Middle East & Africa BOE Etchant Revenue by Country (2020-2025)
8.2 Middle East & Africa BOE Etchant Sales by Type
8.3 Middle East & Africa BOE Etchant Sales by Application
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of BOE Etchant
10.3 Manufacturing Process Analysis of BOE Etchant
10.4 Industry Chain Structure of BOE Etchant
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 BOE Etchant Distributors
11.3 BOE Etchant Customer
12 World Forecast Review for BOE Etchant by Geographic Region
12.1 Global BOE Etchant Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global BOE Etchant Forecast by Region (2026-2031)
12.1.2 Global BOE Etchant Annual Revenue Forecast by Region (2026-2031)
12.2 Americas Forecast by Country
12.3 APAC Forecast by Region
12.4 Europe Forecast by Country
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country
12.6 Global BOE Etchant Forecast by Type
12.7 Global BOE Etchant Forecast by Application
13 Key Players Analysis
13.1 Stella Chemifa
13.1.1 Stella Chemifa Company Information
13.1.2 Stella Chemifa BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Stella Chemifa BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.1.4 Stella Chemifa Main Business Overview
13.1.5 Stella Chemifa Latest Developments
13.2 Zhejiang Kaisn
13.2.1 Zhejiang Kaisn Company Information
13.2.2 Zhejiang Kaisn BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.2.3 Zhejiang Kaisn BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.2.4 Zhejiang Kaisn Main Business Overview
13.2.5 Zhejiang Kaisn Latest Developments
13.3 FDAC
13.3.1 FDAC Company Information
13.3.2 FDAC BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.3.3 FDAC BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.3.4 FDAC Main Business Overview
13.3.5 FDAC Latest Developments
13.4 Zhejiang Morita
13.4.1 Zhejiang Morita Company Information
13.4.2 Zhejiang Morita BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Zhejiang Morita BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.4.4 Zhejiang Morita Main Business Overview
13.4.5 Zhejiang Morita Latest Developments
13.5 Soulbrain
13.5.1 Soulbrain Company Information
13.5.2 Soulbrain BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Soulbrain BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.5.4 Soulbrain Main Business Overview
13.5.5 Soulbrain Latest Developments
13.6 KMG Chemicals
13.6.1 KMG Chemicals Company Information
13.6.2 KMG Chemicals BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.6.3 KMG Chemicals BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.6.4 KMG Chemicals Main Business Overview
13.6.5 KMG Chemicals Latest Developments
13.7 Jiangyin Jianghua
13.7.1 Jiangyin Jianghua Company Information
13.7.2 Jiangyin Jianghua BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Jiangyin Jianghua BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.7.4 Jiangyin Jianghua Main Business Overview
13.7.5 Jiangyin Jianghua Latest Developments
13.8 Suzhou Crystal Clear Chemical
13.8.1 Suzhou Crystal Clear Chemical Company Information
13.8.2 Suzhou Crystal Clear Chemical BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.8.3 Suzhou Crystal Clear Chemical BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.8.4 Suzhou Crystal Clear Chemical Main Business Overview
13.8.5 Suzhou Crystal Clear Chemical Latest Developments
13.9 Fujian Shaowu Yongfei
13.9.1 Fujian Shaowu Yongfei Company Information
13.9.2 Fujian Shaowu Yongfei BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.9.3 Fujian Shaowu Yongfei BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.9.4 Fujian Shaowu Yongfei Main Business Overview
13.9.5 Fujian Shaowu Yongfei Latest Developments
13.10 Suzhou Boyang Chemical
13.10.1 Suzhou Boyang Chemical Company Information
13.10.2 Suzhou Boyang Chemical BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.10.3 Suzhou Boyang Chemical BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.10.4 Suzhou Boyang Chemical Main Business Overview
13.10.5 Suzhou Boyang Chemical Latest Developments
13.11 Jiangyin Runma
13.11.1 Jiangyin Runma Company Information
13.11.2 Jiangyin Runma BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.11.3 Jiangyin Runma BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.11.4 Jiangyin Runma Main Business Overview
13.11.5 Jiangyin Runma Latest Developments
13.12 Puritan Products(Avantor)
13.12.1 Puritan Products(Avantor) Company Information
13.12.2 Puritan Products(Avantor) BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.12.3 Puritan Products(Avantor) BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.12.4 Puritan Products(Avantor) Main Business Overview
13.12.5 Puritan Products(Avantor) Latest Developments
13.13 Columbus Chemical Industries
13.13.1 Columbus Chemical Industries Company Information
13.13.2 Columbus Chemical Industries BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.13.3 Columbus Chemical Industries BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.13.4 Columbus Chemical Industries Main Business Overview
13.13.5 Columbus Chemical Industries Latest Developments
13.14 Transene Company
13.14.1 Transene Company Company Information
13.14.2 Transene Company BOE Etchant Product Portfolios and Specifications
13.14.3 Transene Company BOE Etchant Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.14.4 Transene Company Main Business Overview
13.14.5 Transene Company Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion

※참고 정보

BOE 에칭액(BOE Etchant)은 반도체 제조 공정에서 매우 중요한 역할을 수행하는 화학 물질입니다. BOE는 Buffered Oxide Etch의 약자로, 직역하면 '완충 산화막 식각액'이라 할 수 있습니다. 이는 실리콘 산화막(SiO2)을 선택적으로, 그리고 정밀하게 제거하는 데 사용되는 화학적 식각액입니다. 반도체 웨이퍼 위에 형성된 다양한 패턴을 구현하기 위해서는 특정 영역의 산화막만을 깎아내야 하는데, 이때 BOE 에칭액이 핵심적인 역할을 합니다.

BOE 에칭액의 가장 큰 특징은 그 ‘완충(Buffered)’ 성격에 있습니다. 일반적인 불산(HF, Hydrofluoric Acid)은 산화막을 매우 빠르게 식각하지만, 식각 속도가 일정하지 않고 웨이퍼 표면에 손상을 줄 수도 있다는 단점이 있습니다. 또한, 식각 과정에서 발생하는 불산 농도의 변화가 식각 균일성을 저해할 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 BOE 에칭액에는 불산과 함께 암모늄 염류(예: NH4F, Ammonium Fluoride)가 첨가됩니다. 암모늄 염류는 용액 내의 수소 이온 농도(pH)를 안정화시키는 완충 작용을 합니다. 즉, 불산이 산화막과 반응하여 물을 생성하고, 이 물이 불산의 농도를 희석시키면서 식각 속도가 느려지는 것을 방지하는 역할을 합니다. 암모늄 염류는 수소 이온을 공급하거나 흡수함으로써 pH 변화를 최소화하고, 결과적으로 보다 안정적이고 균일한 식각 속도를 유지할 수 있게 합니다. 이는 미세 패턴을 구현해야 하는 반도체 공정에서 매우 중요합니다.

BOE 에칭액의 기본적인 화학 반응은 다음과 같습니다. 실리콘 산화막(SiO2)은 불산(HF)과 반응하여 기체 형태의 사불화규소(SiF4)와 물(H2O)을 생성합니다. 이 과정에서 산화막이 용해되는 것입니다.

SiO2 + 4HF → SiF4 (g) + 2H2O

하지만 이 반응만으로는 pH 조절이 어렵습니다. 완충제인 암모늄 플루오라이드(NH4F)가 존재함으로써 용액 내에서 다음과 같은 평형 반응이 일어납니다.

HF ⇌ H+ + F-
NH4F ⇌ NH4+ + F-
NH4+ ⇌ NH3 + H+

이러한 평형 반응을 통해 용액 내의 수소 이온 농도가 일정하게 유지되어 식각 속도를 제어하고 안정화하는 데 기여합니다.

BOE 에칭액은 주로 불산과 암모늄 플루오라이드의 혼합물로 구성되지만, 사용 목적이나 요구되는 식각 특성에 따라 그 조성비가 달라질 수 있습니다. 일반적인 BOE 에칭액의 조성비는 불산 농도에 따라 크게 세 가지 종류로 나눌 수 있습니다. 첫째, 가장 흔하게 사용되는 것은 HF와 NH4F의 비율이 약 1:5에서 1:10 사이인 용액입니다. 이 용액은 비교적 느리고 균일한 식각 속도를 제공하여 일반적인 산화막 식각에 널리 사용됩니다. 둘째, 불산 비율이 더 높은, 즉 NH4F 비율이 상대적으로 낮은 용액은 더 빠른 식각 속도를 제공합니다. 이러한 용액은 시간 제약이 있거나 더 빠른 공정이 필요한 경우에 사용될 수 있습니다. 셋째, 불산 비율이 더 낮은 용액은 매우 느리고 정밀한 식각이 요구될 때 사용될 수 있으며, 표면 손상을 최소화하는 데 유리합니다.

BOE 에칭액은 반도체 공정에서 매우 광범위하게 사용됩니다. 그 주요 용도는 다음과 같습니다.

첫째, 포토 리소그래피(Photolithography) 공정 후의 식각입니다. 포토 리소그래피 공정은 반도체 회로 패턴을 웨이퍼 위에 형성하는 핵심 공정입니다. 포토 레지스트(Photoresist)라는 감광성 물질을 웨이퍼 위에 도포하고, 특정 패턴이 새겨진 마스크를 통해 빛을 쬐어 패턴을 형성합니다. 이 포토 레지스트 패턴은 식각 공정에서 일종의 보호막 역할을 합니다. 리소그래피 공정 후, 이 포토 레지스트 패턴을 이용하여 아래에 있는 산화막을 선택적으로 제거해야 하는데, 이때 BOE 에칭액이 사용됩니다.

둘째, 박막 두께 조절입니다. 반도체 소자를 만들기 위해서는 다양한 두께의 박막이 필요합니다. 산화막 역시 특정 두께를 유지해야 하는데, 공정 과정에서 의도치 않게 산화막 두께가 두꺼워지거나 얇아져야 할 경우, BOE 에칭액을 사용하여 정확한 두께로 조절할 수 있습니다.

셋째, 패터닝(Patterning) 공정입니다. 트렌치(Trench)나 비아(Via)와 같이 웨이퍼에 구멍을 뚫어 전기적 연결을 만드는 공정에서도 BOE 에칭액이 사용됩니다. 예를 들어, 트렌치 식각을 위해 위에 형성된 산화막 패턴을 따라 BOE로 식각하여 원하는 깊이와 폭의 트렌치를 형성합니다.

넷째, 계면층(Interlayer) 형성 시에도 사용될 수 있습니다. 서로 다른 물질 간의 접착력을 높이거나 절연 특성을 개선하기 위해 특정 물질을 증착하기 전, 표면을 깨끗하게 하고 미세한 패턴을 형성하기 위해 BOE 에칭액을 사용할 수 있습니다.

BOE 에칭액과 관련된 기술은 매우 다양하며, 끊임없이 발전하고 있습니다. 핵심적인 관련 기술은 다음과 같습니다.

첫째, 식각 속도 및 균일성 제어 기술입니다. 반도체 공정의 미세화 및 집적도 향상에 따라 식각 속도의 정밀한 제어와 웨이퍼 전체에 걸친 균일성이 더욱 중요해지고 있습니다. 이를 위해 에칭액의 조성비를 최적화하고, 온도, 압력, 에칭 시간 등 다양한 공정 변수를 정밀하게 제어하는 기술이 개발되고 있습니다. 또한, 실시간으로 식각률을 모니터링하고 피드백을 통해 공정을 조절하는 인라인(In-line) 측정 기술도 발전하고 있습니다.

둘째, 선택비(Selectivity) 향상 기술입니다. BOE 에칭액은 산화막을 식각하는 데 사용되지만, 다른 물질(예: 실리콘 질화막, 실리콘 기판 등)을 식각하는 속도 또한 고려해야 합니다. 원하는 산화막만 효율적으로 제거하고 다른 물질은 최대한 손상시키지 않는 높은 선택비를 확보하는 것이 중요합니다. 이를 위해 에칭액의 첨가제 성분을 조절하거나, 새로운 종류의 완충제를 개발하는 연구가 진행되고 있습니다.

셋째, 불순물 관리 기술입니다. 반도체 제조 공정에서 불순물은 소자의 성능에 치명적인 영향을 미칠 수 있습니다. BOE 에칭액에 포함된 불순물이나 공정 중에 발생할 수 있는 불순물을 효과적으로 제거하고 관리하는 기술은 매우 중요합니다. 에칭액 자체의 순도를 높이는 것뿐만 아니라, 식각 후 잔류하는 불산이나 기타 화학 물질을 효과적으로 세척하는 기술도 병행되어야 합니다.

넷째, 친환경 및 안전 기술입니다. 전통적인 BOE 에칭액에 사용되는 불산은 독성이 강하고 취급에 주의가 필요합니다. 따라서 불산 사용량을 줄이거나, 보다 안전하고 친환경적인 대체 에칭액을 개발하는 연구도 활발히 진행되고 있습니다. 예를 들어, 특정 유기산이나 다른 플루오라이드 화합물을 활용하여 유사한 식각 성능을 얻으려는 시도가 이루어지고 있습니다.

BOE 에칭액은 반도체 제조 공정의 근간을 이루는 화학 식각 기술의 핵심 요소이며, 그 특성과 응용 분야는 반도체 기술의 발전과 함께 지속적으로 진화하고 있습니다. 앞으로도 더욱 정밀하고 효율적이며, 안전한 반도체 제조를 위해 BOE 에칭액 관련 기술은 더욱 발전해 나갈 것으로 기대됩니다.
※본 조사보고서 [세계의 BOE 에칭액 시장예측 2025년-2031년] (코드 : LPK23JU0195) 판매에 관한 면책사항을 반드시 확인하세요.
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