| ■ 영문 제목 : Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Market Growth 2025-2031
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 | ■ 상품코드 : LPK23JL0237
■ 조사/발행회사 : LP Information
■ 발행일 : 2025년 3월
■ 페이지수 : 102
■ 작성언어 : 영어
■ 보고서 형태 : PDF
■ 납품 방식 : E메일
■ 조사대상 지역 : 글로벌
■ 산업 분야 : 화학&재료
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■ 판매가격 / 옵션
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LP인포메이션 (LPI) 의 최신 조사 자료는 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 과거 판매실적을 살펴보고 2024년의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 판매실적을 검토하여 2025년부터 2031년까지 예상되는 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 판매에 대한 지역 및 시장 세그먼트별 포괄적인 분석을 제공합니다. 글로벌 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모는 2024년 xxx백만 달러에서 연평균 xx% 성장하여 2031년에는 xxx백만 달러에 달할 것으로 예측되고 있습니다. 본 보고서의 시장규모 데이터는 무역 전쟁 및 러시아-우크라이나 전쟁의 영향을 반영했습니다.
본 조사 자료는 글로벌 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장에 관해서 조사, 분석한 보고서로서, 기업별 시장 점유율, 지역별 시장규모 (미주, 미국, 캐나다, 멕시코, 브라질, 아시아 태평양, 중국, 일본, 한국, 동남아시아, 인도, 유럽, 독일, 프랑스, 영국, 이탈리아, 러시아, 중동/아프리카, 이집트, 남아프리카, 터키, 중동GCC국 등), 시장동향, 판매/유통업자/고객 리스트, 시장예측 (2026년-2031년), 주요 기업동향 (기업정보, 제품, 판매량, 매출, 가격, 매출총이익) 등의 정보를 수록하고 있습니다.
또한, 주요지역의 종류별 (4N, 4.5N, 기타) 시장규모와 용도별 (반도체, 태양 에너지, 기타) 시장규모 데이터도 포함되어 있습니다.
***** 목차 구성 *****
보고서의 범위
경영자용 요약
- 글로벌 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 2020년-2031년
- 지역별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장분석
- 종류별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 2020년-2025년 (4N, 4.5N, 기타)
- 용도별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 2020년-2025년 (반도체, 태양 에너지, 기타)
기업별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장분석
- 기업별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 판매량
- 기업별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 매출액
- 기업별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 판매가격
- 주요기업의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 생산거점, 판매거점
- 시장 집중도 분석
지역별 분석
- 지역별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 판매량 2020년-2025년
- 지역별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 매출액 2020년-2025년
미주 시장
- 미주의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 2020년-2025년
- 미주의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 종류별
- 미주의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 용도별
- 미국 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 캐나다 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 멕시코 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 브라질 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
아시아 태평양 시장
- 아시아 태평양의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 2020년-2025년
- 아시아 태평양의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 종류별
- 아시아 태평양의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 용도별
- 중국 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 일본 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 한국 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 동남아시아 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 인도 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
유럽 시장
- 유럽의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 2020년-2025년
- 유럽의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 종류별
- 유럽의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 용도별
- 독일 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 프랑스 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 영국 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
중동/아프리카 시장
- 중동/아프리카의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 2020년-2025년
- 중동/아프리카의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 종류별
- 중동/아프리카의 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 : 용도별
- 이집트 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 남아프리카 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
- 중동GCC 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모
시장의 성장요인, 과제, 동향
- 시장의 성장요인, 기회
- 시장의 과제, 리스크
- 산업 동향
제조원가 구조 분석
- 원재료 및 공급업체
- 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 제조원가 구조 분석
- 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 제조 프로세스 분석
- 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 산업체인 구조
마케팅, 유통업체, 고객
- 판매채널
- 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 유통업체
- 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 주요 고객
지역별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장 예측
- 지역별 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장규모 예측 2026년-2031년
- 미주 시장 예측
- 아시아 태평양 시장 예측
- 유럽 시장 예측
- 중동/아프리카 시장 예측
- 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 종류별 시장예측 (4N, 4.5N, 기타)
- 고순도 전자 공업용 삼불화 질소의 용도별 시장예측 (반도체, 태양 에너지, 기타)
주요 기업 분석 (기업정보, 제품, 판매량, 매출, 가격, 매출총이익)
- Versum Materials, Taiwan Speciality Chemicals Corporation, Linde Gas, Matheson, Electronic Fluorocarbons, Praxair, Mitsui Chemicals, Shandong Feiyuan Technology, China National Chemical Corporation, Dalian Special Gases
조사의 결과/결론 |
■ 보고서 개요LPI (LP Information)’ newest research report, the “High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Industry Forecast” looks at past sales and reviews total world High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride sales in 2024, providing a comprehensive analysis by region and market sector of projected High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride sales for 2025 through 2031. With High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride sales broken down by region, market sector and sub-sector, this report provides a detailed analysis in US$ millions of the world High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride industry.
This Insight Report provides a comprehensive analysis of the global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride landscape and highlights key trends related to product segmentation, company formation, revenue, and market share, latest development, and M&A activity. This report also analyzes the strategies of leading global companies with a focus on High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride portfolios and capabilities, market entry strategies, market positions, and geographic footprints, to better understand these firms’ unique position in an accelerating global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride market.
This Insight Report evaluates the key market trends, drivers, and affecting factors shaping the global outlook for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride and breaks down the forecast by type, by application, geography, and market size to highlight emerging pockets of opportunity. With a transparent methodology based on hundreds of bottom-up qualitative and quantitative market inputs, this study forecast offers a highly nuanced view of the current state and future trajectory in the global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride.
The global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride market size is projected to grow from US$ million in 2024 to US$ million in 2031; it is expected to grow at a CAGR of % from 2025 to 2031.
United States market for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2031, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
China market for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2031, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
Europe market for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride is estimated to increase from US$ million in 2024 to US$ million by 2031, at a CAGR of % from 2025 through 2031.
Global key High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride players cover Versum Materials, Taiwan Speciality Chemicals Corporation, Linde Gas, Matheson, Electronic Fluorocarbons, Praxair, Mitsui Chemicals, Shandong Feiyuan Technology and China National Chemical Corporation, etc. In terms of revenue, the global two largest companies occupied for a share nearly % in 2024.
This report presents a comprehensive overview, market shares, and growth opportunities of High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride market by product type, application, key manufacturers and key regions and countries.
[Market Segmentation]
Segmentation by type
4N
4.5N
Others
Segmentation by application
Semiconductor
Solar Energy
Others
This report also splits the market by region:
Americas
United States
Canada
Mexico
Brazil
APAC
China
Japan
Korea
Southeast Asia
India
Australia
Europe
Germany
France
UK
Italy
Russia
Middle East & Africa
Egypt
South Africa
Israel
Turkey
GCC Countries
The below companies that are profiled have been selected based on inputs gathered from primary experts and analyzing the company’s coverage, product portfolio, its market penetration.
Versum Materials
Taiwan Speciality Chemicals Corporation
Linde Gas
Matheson
Electronic Fluorocarbons
Praxair
Mitsui Chemicals
Shandong Feiyuan Technology
China National Chemical Corporation
Dalian Special Gases
[Key Questions Addressed in this Report]
What is the 10-year outlook for the global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride market?
What factors are driving High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride market growth, globally and by region?
Which technologies are poised for the fastest growth by market and region?
How do High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride market opportunities vary by end market size?
How does High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride break out type, application?
What are the influences of trade war and Russia-Ukraine war?
■ 보고서 목차1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Sales 2020-2031
2.1.2 World Current & Future Analysis for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride by Geographic Region, 2020, 2024 & 2031
2.1.3 World Current & Future Analysis for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride by Country/Region, 2020, 2024 & 2031
2.2 High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Segment by Type
2.2.1 4N
2.2.2 4.5N
2.2.3 Others
2.3 High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Type
2.3.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales Market Share by Type (2020-2025)
2.3.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue and Market Share by Type (2020-2025)
2.3.3 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sale Price by Type (2020-2025)
2.4 High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Segment by Application
2.4.1 Semiconductor
2.4.2 Solar Energy
2.4.3 Others
2.5 High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Application
2.5.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sale Market Share by Application (2020-2025)
2.5.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue and Market Share by Application (2020-2025)
2.5.3 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sale Price by Application (2020-2025)
3 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride by Company
3.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Breakdown Data by Company
3.1.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Sales by Company (2020-2025)
3.1.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales Market Share by Company (2020-2025)
3.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Revenue by Company (2020-2025)
3.2.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue by Company (2020-2025)
3.2.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue Market Share by Company (2020-2025)
3.3 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Location Distribution
3.4.2 Players High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2020-2025)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Mergers & Acquisitions, Expansion
4 World Historic Review for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride by Geographic Region
4.1 World Historic High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Market Size by Geographic Region (2020-2025)
4.1.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Sales by Geographic Region (2020-2025)
4.1.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Revenue by Geographic Region (2020-2025)
4.2 World Historic High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Market Size by Country/Region (2020-2025)
4.2.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Sales by Country/Region (2020-2025)
4.2.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Revenue by Country/Region (2020-2025)
4.3 Americas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales Growth
4.4 APAC High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales Growth
4.5 Europe High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales Growth
4.6 Middle East & Africa High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Country
5.1.1 Americas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Country (2020-2025)
5.1.2 Americas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue by Country (2020-2025)
5.2 Americas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Type
5.3 Americas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Application
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Region
6.1.1 APAC High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Region (2020-2025)
6.1.2 APAC High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue by Region (2020-2025)
6.2 APAC High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Type
6.3 APAC High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Application
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride by Country
7.1.1 Europe High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Country (2020-2025)
7.1.2 Europe High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue by Country (2020-2025)
7.2 Europe High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Type
7.3 Europe High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Application
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride by Country
8.1.1 Middle East & Africa High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Country (2020-2025)
8.1.2 Middle East & Africa High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Revenue by Country (2020-2025)
8.2 Middle East & Africa High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Type
8.3 Middle East & Africa High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales by Application
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride
10.3 Manufacturing Process Analysis of High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride
10.4 Industry Chain Structure of High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Distributors
11.3 High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Customer
12 World Forecast Review for High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride by Geographic Region
12.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Forecast by Region (2026-2031)
12.1.2 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Annual Revenue Forecast by Region (2026-2031)
12.2 Americas Forecast by Country
12.3 APAC Forecast by Region
12.4 Europe Forecast by Country
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country
12.6 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Forecast by Type
12.7 Global High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Forecast by Application
13 Key Players Analysis
13.1 Versum Materials
13.1.1 Versum Materials Company Information
13.1.2 Versum Materials High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Versum Materials High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.1.4 Versum Materials Main Business Overview
13.1.5 Versum Materials Latest Developments
13.2 Taiwan Speciality Chemicals Corporation
13.2.1 Taiwan Speciality Chemicals Corporation Company Information
13.2.2 Taiwan Speciality Chemicals Corporation High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.2.3 Taiwan Speciality Chemicals Corporation High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.2.4 Taiwan Speciality Chemicals Corporation Main Business Overview
13.2.5 Taiwan Speciality Chemicals Corporation Latest Developments
13.3 Linde Gas
13.3.1 Linde Gas Company Information
13.3.2 Linde Gas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Linde Gas High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.3.4 Linde Gas Main Business Overview
13.3.5 Linde Gas Latest Developments
13.4 Matheson
13.4.1 Matheson Company Information
13.4.2 Matheson High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Matheson High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.4.4 Matheson Main Business Overview
13.4.5 Matheson Latest Developments
13.5 Electronic Fluorocarbons
13.5.1 Electronic Fluorocarbons Company Information
13.5.2 Electronic Fluorocarbons High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Electronic Fluorocarbons High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.5.4 Electronic Fluorocarbons Main Business Overview
13.5.5 Electronic Fluorocarbons Latest Developments
13.6 Praxair
13.6.1 Praxair Company Information
13.6.2 Praxair High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.6.3 Praxair High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.6.4 Praxair Main Business Overview
13.6.5 Praxair Latest Developments
13.7 Mitsui Chemicals
13.7.1 Mitsui Chemicals Company Information
13.7.2 Mitsui Chemicals High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Mitsui Chemicals High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.7.4 Mitsui Chemicals Main Business Overview
13.7.5 Mitsui Chemicals Latest Developments
13.8 Shandong Feiyuan Technology
13.8.1 Shandong Feiyuan Technology Company Information
13.8.2 Shandong Feiyuan Technology High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.8.3 Shandong Feiyuan Technology High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.8.4 Shandong Feiyuan Technology Main Business Overview
13.8.5 Shandong Feiyuan Technology Latest Developments
13.9 China National Chemical Corporation
13.9.1 China National Chemical Corporation Company Information
13.9.2 China National Chemical Corporation High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.9.3 China National Chemical Corporation High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.9.4 China National Chemical Corporation Main Business Overview
13.9.5 China National Chemical Corporation Latest Developments
13.10 Dalian Special Gases
13.10.1 Dalian Special Gases Company Information
13.10.2 Dalian Special Gases High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Product Portfolios and Specifications
13.10.3 Dalian Special Gases High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.10.4 Dalian Special Gases Main Business Overview
13.10.5 Dalian Special Gases Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion
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※참고 정보
고순도 전자 공업용 삼불화 질소(High Purity Electronic Grade Nitrogen Trifluoride, 이하 고순도 NF₃)는 반도체, 디스플레이 등 첨단 전자 산업에서 필수적으로 사용되는 특수 가스로, 그 중요성이 날로 커지고 있습니다. NF₃는 질소와 불소가 결합한 화합물로, 일반적으로 무색, 무취의 기체 상태를 유지합니다. 일반 산업용 NF₃와 구별되는 '전자 공업용'이라는 명칭은 이 가스가 전자 제품 제조 과정에서 요구되는 극히 높은 순도를 만족함을 의미합니다. 미량의 불순물도 반도체 웨이퍼의 성능 저하, 공정 수율 감소, 장비 손상 등 치명적인 문제를 야기할 수 있기 때문에, 전자 공업용 NF₃는 99.999% 이상의 초고순도를 요구하며, 이를 달성하기 위해 매우 엄격한 생산 및 정제 공정을 거칩니다.
고순도 NF₃의 주요 특징으로는 강력한 산화력과 높은 반응성이 있습니다. 이러한 특성 덕분에 플라즈마 식각(Plasma Etching) 공정에서 다양한 박막을 효과적으로 제거하는 데 사용됩니다. 특히, 실리콘 산화막(SiO₂), 질화 실리콘막(Si₃N₄),텅스텐(W) 등 반도체 공정에서 형성되는 다양한 물질들을 빠르고 깨끗하게 제거할 수 있으며, 이러한 식각 능력은 미세 패턴 형성에 필수적인 역할을 합니다. 또한, NF₃는 상온에서 비교적 안정적인 상태를 유지하지만, 특정 조건 하에서는 격렬하게 반응할 수 있으므로 취급 시에는 안전에 각별한 주의가 필요합니다. 고순도 NF₃는 독성이 있으며, 흡입 시 호흡기 계통에 심각한 손상을 줄 수 있으므로 밀폐된 공간에서의 사용 및 적절한 환기 시설은 필수적입니다. 또한, 피부나 눈에 접촉할 경우 자극을 유발할 수 있으므로 보호 장구 착용이 권장됩니다.
고순도 NF₃는 그 사용처에 따라 특정 순도 규격을 만족해야 하며, 일반적으로 전자 공업용으로 분류되는 제품들은 ppm(parts per million) 또는 ppb(parts per billion) 단위의 극미량 불순물까지 관리됩니다. 주요 불순물로는 수분(H₂O), 산소(O₂), 일산화탄소(CO), 이산화탄소(CO₂), 기타 불화물 등이 있으며, 이러한 불순물들은 정제 과정을 통해 최대한 제거됩니다. 고순도 NF₃의 종류를 구분하는 가장 명확한 기준은 바로 순도와 해당 순도를 달성하기 위한 정제 기술의 수준입니다. 하지만 일률적으로 '종류'를 나누기보다는, 특정 응용 분야에 맞춰 불순물 함량을 더욱 엄격하게 관리하거나 특정 불순물의 농도를 극도로 낮춘 특수 등급의 제품들이 존재한다고 이해하는 것이 더 적절합니다.
고순도 NF₃의 핵심적인 용도는 앞서 언급했듯이 반도체 제조 공정에서의 플라즈마 식각입니다. 특히, 차세대 반도체 기술로 발전함에 따라 더욱 미세하고 복잡한 구조를 형성해야 하는데, 이때 고순도 NF₃는 고효율의 식각 성능을 제공하여 이러한 요구사항을 충족시키는 데 기여합니다. 또한, 평탄화(Planarization) 공정에서도 잔류물을 제거하는 데 사용되기도 합니다. 반도체 외에도 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display) 제조 공정에서도 박막 증착 장비의 내부 세정(Chamber Cleaning)에 사용됩니다. CVD(Chemical Vapor Deposition)나 PVD(Physical Vapor Deposition)와 같은 증착 공정 후 장비 내부에 쌓이는 불순물을 효과적으로 제거하여 장비의 수명을 연장하고 다음 공정의 안정성을 확보하는 데 중요한 역할을 합니다. 또한, 태양전지 제조 공정에서도 일부 응용 분야가 있으며, 미래에는 신재생 에너지 관련 산업에서도 그 사용이 확대될 가능성이 있습니다.
고순도 NF₃의 생산과 관련된 핵심 기술로는 고순도 합성과 정제 기술을 들 수 있습니다. NF₃는 일반적으로 질소와 불소 기체를 직접 반응시켜 합성됩니다. 이 과정에서 불소의 반응성을 제어하고 부산물의 생성을 최소화하는 것이 중요합니다. 합성과정에서 생성된 NF₃는 다양한 불순물을 포함하고 있기 때문에, 이러한 불순물을 제거하기 위한 고도의 정제 기술이 필요합니다. 주요 정제 방법으로는 흡착법, 증류법, 화학 흡착법 등이 복합적으로 사용됩니다. 특히, 극미량의 불순물을 효과적으로 제거하기 위해서는 다단계의 정제 공정을 거쳐야 하며, 이를 위한 특수 흡착제나 분리막 기술이 활용됩니다. 또한, 초고순도 가스를 취급하고 저장, 운송하는 과정에서도 특수 재질의 용기 및 배관 시스템이 사용되어 가스의 순도를 유지하는 것이 중요합니다.
최근에는 환경 규제 강화와 더불어 NF₃의 온실가스 효과에 대한 우려로 인해, NF₃ 배출량을 저감하고 회수 및 재활용하는 기술도 중요하게 부각되고 있습니다. 또한, NF₃를 대체할 수 있는 친환경적인 식각 가스에 대한 연구도 활발히 진행되고 있지만, 현재까지 NF₃만큼의 성능과 범용성을 갖춘 대체재를 찾기는 어려운 실정입니다. 따라서 기존 NF₃ 공정의 효율성을 높이고 환경 부담을 줄이는 기술 개발이 당분간 지속될 것으로 예상됩니다. 고순도 NF₃는 첨단 전자 산업의 발전에 있어 없어서는 안 될 핵심 소재로서, 그 중요성은 앞으로도 계속될 것으로 전망됩니다. |
| ※본 조사보고서 [글로벌 고순도 전자 공업용 삼불화 질소 시장 2025-2031] (코드 : LPK23JL0237) 판매에 관한 면책사항을 반드시 확인하세요. |
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