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이 문서는 웨이퍼 세정 장비 시장에 대한 연구 보고서의 개요를 제공합니다. 서론에서는 연구의 목표, 시장 정의, 연구 범위, 포함 및 제외 사항, 대상 시장, 지역 범위, 고려된 연도, 통화, 패키지 크기, 제한 사항, 이해관계자, 변경 사항 요약, 경기 침체의 영향 등을 다룹니다. 연구 방법론에서는 연구 데이터의 출처와 시장 규모 추정 방법론을 설명합니다. 2차 데이터와 기본 데이터의 주요 출처를 제시하고, 시장 규모 추정에 대한 상향식 및 하향식 접근법을 설명합니다. 또한, 시장 점유율 계산, 데이터 삼각 측량, 위험 평가, 연구 가정 및 제한 사항에 대해서도 언급합니다. 임원 요약에서는 웨이퍼 세정 장비 시장의 성장 추세와 예측을 제시하며, 2028년까지의 시장 점유율 및 주요 장비 유형에 대한 정보를 제공합니다. 특히, 아시아 태평양 지역의 높은 성장률을 강조합니다. 프리미엄 인사이트에서는 웨이퍼 세정 장비 시장에서의 기회와 장비 유형별 시장 점유율, 애플리케이션별 시장 점유율 등을 분석합니다. 3D IC의 인기 증가와 같은 요인들이 향후 수요를 증가시킬 것으로 예상됩니다. 시장 개요에서는 시장 역학을 다루며, 동인, 제약, 기회, 도전 과제를 분석합니다. MEMS 기술의 채택 증가, AI 기반 메모리 장치 수요 증가, 전기 자동차 사용 증가, 5G 기술 채택 증가 등이 시장의 동인으로 작용합니다. 반면, 환경 문제와 물 부족, 규제 강화는 제약 요인으로 작용합니다. 공급망 분석과 생태계 매핑에서는 웨이퍼 세정 장비의 공급망과 생태계를 분석하고, 기술 동향과 가격 분석, 특허 분석을 통해 시장의 경쟁력을 평가합니다. 포터의 5 Forces 분석을 통해 신규 진입자의 위협, 대체품의 위협, 공급업체 및 구매자의 협상력, 경쟁 강도를 평가합니다. 마지막으로, 주요 이해관계자와 구매 기준, 사례 연구, 무역 데이터 분석, 관세 및 규제 환경, 고객 비즈니스에 영향을 미치는 트렌드 등을 다루며, 웨이퍼 세정 장비 시장의 전반적인 상황을 종합적으로 분석합니다. |
웨이퍼 세정 장비 시장은 2023년 101억 달러에서 2028년에는 165억 달러에 달할 것으로 예상되며, 2023-2028년 기간 동안 10.4%의 연평균 성장률(CAGR)로 성장할 것으로 전망됩니다.
웨이퍼는 반도체 재료로 만든 얇은 조각 또는 기초를 의미하며, 전자 분야에서 집적 회로(IC) 생산에 필수적입니다. 이러한 웨이퍼는 실리콘과 같이 매우 순수하고 결함이 없는 물질을 사용하여 세심하게 생산됩니다. 디바이스에 통합되기 전에 이 웨이퍼는 세심한 화학적 세척을 거칩니다. 단일 웨이퍼 스프레이 시스템, 단일 웨이퍼 극저온 시스템, 배치 침지 세척 시스템, 배치 스프레이 세척 시스템, 스크러버 등 다양한 자동, 반자동, 수동 웨이퍼 세척 장비 옵션을 이용할 수 있습니다. 세척 장비의 선택은 웨이퍼 크기, 오염 물질의 특성, 처리량 요구 사항, 사용하려는 장치의 구성과 같은 요인에 따라 달라집니다.
세척 절차를 통해 웨이퍼 표면에 부착된 불순물을 제거하여 반도체 장치에 사용하기에 더 적합하게 만듭니다. 이러한 웨이퍼 클리닝 도구는 실리콘 웨이퍼, 복합 반도체 장치 웨이퍼, MEMS, 평판 디스플레이, 하드 디스크 드라이브용 읽기/쓰기 헤드, 포토마스크 및 인쇄 회로 기판(PCB)을 정화하는 데 적용됩니다. MEMS, CIS, 메모리, RF 디바이스, LED, 인터포저, 로직 등 다양한 애플리케이션에서 웨이퍼에 대한 수요가 높습니다. 웨이퍼에 대한 수요가 계속 증가함에 따라 철저하고 효과적인 웨이퍼 제조 및 세척 공정을 수행하기 위해 웨이퍼 세척 장비의 도입이 증가하고 있습니다.
웨이퍼 세정 장비 시장은 단일 웨이퍼 스프레이 시스템, 단일 웨이퍼 극저온 시스템, 배치 침지 세정 시스템, 배치 스프레이 세정 시스템, 스크러버 등 장비 유형별로 분류됩니다.
웨이퍼 클리닝 장비 시장
웨이퍼 세정 장비 시장
2028년까지의 웨이퍼 세정 장비 시장 전망
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웨이퍼 세정 장비 시장 역학
드라이버: AI 기반 서버의 메모리 장치 수요 증가
최근 몇 년 동안 다양한 애플리케이션에서 인공 지능(AI)의 채택이 크게 급증했습니다. ChatGPT와 같은 AI 기반 챗봇의 인기 증가로 인해 지속적으로 성장하는 제너레이티브 AI 시장은 제너레이티브 AI 시장의 성장을 촉진하는 주요 요인입니다. 이러한 AI 기반 챗봇의 인기 증가는 메모리 및 저장 장치의 수요를 견인하여 향후 5년간 평균 판매 가격(ASP) 추세를 개선할 것으로 예상됩니다. 메모리 및 저장 장치의 가격 추세 개선은 메모리 및 저장 장치 제조업체가 과잉 재고를 줄이는 데에도 도움이 될 것으로 예상됩니다. 메모리 기반 장치의 채택이 증가하고 이에 따라 전 세계적으로 메모리 장치의 출하량이 증가함에 따라 반도체 산업의 성장을 견인하여 웨이퍼 클리닝 장비의 시장 성장을 촉진할 것으로 예상됩니다.
규제: 웨이퍼 세정 시 유해 화학물질 배출로 인한 환경 우려
웨이퍼 세정은 반도체 소자를 제조하는 공정에서 가장 반복적인 단계 중 하나입니다. 그러나 디바이스의 소형화 추세와 그에 따른 디바이스의 크기 축소로 인해 불순물의 양이 증가하고 있습니다. 웨이퍼 제조 및 세정 공정에는 안티몬(Sb), 삼산화안티몬(SbO3), 오불화비소(AsF5), 비소(As), 삼염화붕소(BCl3), 삼불화붕소(BF3), 염소(Cl), 게르만(GeH4), 황화수소(H2S), 과산화수소(H2O2) 및 산화 탄소 등 유독 화학물질과 산성 물질이 일부 사용됩니다. 이러한 화학물질은 모두 위험하고 독성이 있으며 인체 건강과 환경에 악영향을 미칩니다. 따라서 반드시 통제된 환경에서 사용해야 합니다. 또한 웨이퍼의 손상과 오염을 제거하기 위해 일반적으로 사용되는 세척 기술인 습식 화학 세정 공정은 환경에 유해한 화학 물질과 산을 상당량 사용합니다. 그러나 기술 발전과 플라즈마 세척, 단파장, 자외선 등의 건식 세척 공정과 같은 대안이 등장하면서 장기적으로 웨이퍼 세척이 환경에 미치는 악영향을 줄일 수 있을 것으로 기대됩니다.
기회: 기술 발전
최근 몇 년 동안 화합물 반도체 기술과 관련된 몇 가지 기술 발전이 있었습니다. 예를 들어, GaN 반도체 소자는 여러 가지 기술 발전을 통해 다양한 애플리케이션에서 수요가 증가했습니다. 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD) 및 분자 에피택시(MBE)와 같은 GaN 결정 성장 기술의 발전은 제조 공정에서 구현됩니다. 이러한 기술은 결함 밀도가 낮은 고품질 GaN 소재를 제공합니다. 연구자들은 또한 GaN 디바이스의 비용을 절감하고 열 성능을 개선하는 GaN-on-Silicon 기술과 같은 GaN 에피택시 층을 위한 대체 기판을 모색하고 있으며, GaN 반도체 디바이스가 높은 고장 내성과 확장성을 가질 수 있도록 하는 GaN-on-GaN 기술도 부상하고 있습니다. 화합물 반도체 소자와 관련된 지속적인 기술 발전으로 트랜지스터, 다이오드, 증폭기, IC 등과 같은 개별 및 집적 반도체 소자의 생산이 급증하고 이에 따라 웨이퍼 세척의 필요성이 증가할 것으로 예상됩니다.
도전 과제: 미국 내 신규 팹 건설 일정의 장기화
새로운 팹을 개발하는 데는 어느 나라에서나 약 2년에서 4년이 걸립니다. 그러나 미국의 신규 팹 개발 기간은 일본, 중국, 대만보다 더 오래 걸립니다. 미국에는 새로운 반도체 제조 시설을 건설하는 동안 준수해야 하는 연방 정부의 환경, 건강 및 안전(EHS) 규정이 여러 가지 있습니다. 이러한 규정은 환경에 미치는 악영향을 줄이는 데 중요한 역할을 하지만, 미국 내 신규 및 첨단 제조 시설의 건설 속도를 크게 떨어뜨립니다. 기존에는 청정 대기법(1970년) 및 기타 유해 폐기물 규정이 새로운 제조 시설을 개발하는 동안 준수해야 하는 주요 규정이었습니다. 그러나 미국 환경품질위원회(CEQ)의 국가환경정책법(NEPA)과 2022년 CHIPS 법 통과로 인해 이러한 규정이 연방 정부가 자금을 지원하는 모든 프로젝트에 적용되면서 미국 내 신규 제조 시설 건설에 소요되는 시간이 더욱 늘어났습니다. 미국의 엄격한 정부 규제로 인해 미국 내 신규 제조 시설 건설에 소요되는 시간이 크게 늘어날 것으로 예상됩니다.
웨이퍼 세정 장비 시장 생태계
생태계별 웨이퍼 세정 장비 시장
단일 웨이퍼 스프레이 시스템은 예측 기간 동안 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 높은 CAGR로 성장할 것으로 예상됩니다.
웨이퍼 세정 공정에서 오염과 불순물은 디바이스 성능에 해로운 영향을 미칠 수 있습니다. 고품질의 디바이스를 얻으려면 반도체 제조 과정에서 이러한 오염과 불순물을 제거해야 합니다. 10년이 지날 때마다 소자의 크기는 점점 작아지고 있으며, 소자는 세척 중에 가해지는 기계적 힘에 더 많이 노출되어 결함이 발생할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 스프레이 세정 시스템은 손상을 최소화하면서 불순물을 제거하는 매우 유망한 세정 시스템입니다. 이 세정 시스템에서는 단일 웨이퍼를 고정식 스프레이 컬럼에 배치하여 웨이퍼가 SC-1, SC-2 및 탈이온수와 같은 화학 물질의 미스트에 노출되도록 처리합니다. 이 과정에서 웨이퍼가 회전하고 헹궈집니다. 회전 후 웨이퍼는 질소(N2) 분위기에서 건조됩니다. 이 시스템은 상당히 비싸지만 효과적인 세척이 가능하고 웨이퍼 손상을 최소화할 수 있다는 장점이 있습니다.
메모리 애플리케이션은 2022년 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 시장 점유율을 차지할 것으로 예상됩니다.
DRAM(동적 랜덤 액세스 메모리), SDRAM(동기식 동적 랜덤 액세스 메모리), 플래시 메모리(NAND 또는 NOR)를 포함한 다양한 형태의 메모리는 컴퓨터, 노트북, 디지털 음악 플레이어, 게임 장치, 모바일 인터넷 장치에 적용됩니다. 메모리 칩을 만드는 과정에는 웨이퍼의 뒷면에서 전체 웨이퍼를 청소하는 초기 공정과 칩을 웨이퍼에 통합하는 공정이 포함됩니다. 이 웨이퍼는 웨이퍼 세척 장비를 통해 세척 절차를 거칩니다. 현재 낸드 플래시 메모리는 모바일 전자제품에서 널리 사용되고 있습니다. 메모리 크기가 나노 단위로 계속 줄어들면서 실리콘 웨이퍼의 결함을 세정하고 제거하는 것이 품질과 효율을 향상시키는 핵심 과제로 부상했습니다. 메모리는 민감도가 높기 때문에 정밀한 세척이 필수적이며, 부적절한 세척은 적절한 기능을 손상시킬 수 있습니다.
아시아 태평양 지역은 예측 기간 동안 가장 높은 시장 점유율로 성장할 것으로 예상됩니다.
지난 40년 반 동안 아시아 태평양(APAC) 지역은 반도체 장비 부문에서 상당한 영향력을 행사하며 괄목할 만한 궤적을 그려왔습니다. 1970년대 이후 캘리포니아 실리콘밸리의 발전은 APAC 지역의 이해관계자들이 제공한 지원에 상당한 빚을 지고 있습니다.
다가오는 예측 기간 동안 APAC 지역은 웨이퍼 세정 장비 시장에서 두드러진 위치를 유지할 것으로 예상됩니다. 이러한 우위는 중국의 비용 효율적인 노동력, 대만의 제조 시설 혁신 및 개선, 일본의 반도체 장비 제조 역량의 지속적인 발전 등 여러 요인에 기인할 수 있습니다. 이러한 요인들이 종합적으로 작용하여 아시아 반도체 산업의 역량을 강화하는 다양한 첨단 이점을 제공합니다. 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장은 주로 대만, 한국, 일본, 중국에 위치한 주요 업체들이 주도하고 있습니다. 이 중 한국과 대만은 2022년 기준으로 웨이퍼 세정 장비 시장에서 글로벌 선두주자로 부상할 것으로 예상됩니다.
지역별 웨이퍼 세정 장비 시장
지역별 웨이퍼 세정 장비 시장
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주요 시장 플레이어
웨이퍼 세정 장비 회사의 주요 업체로는 SCREEN Holdings Co. (일본), 도쿄 일렉트론 주식회사(일본), 어플라이드 머티어리얼즈(미국), 램 리서치 주식회사(미국), 시바우라 메카트로닉스 주식회사(일본), PVA 테플라 AG(독일), 엔트레그리스 주식회사(미국) 등이 있습니다, (미국), SEMES(미국), Modutek.com(일본), Veeco Instruments Inc.(미국), Toho Technology(미국), ULTRON SYSTEMS, INC.(미국), Akrion Technologies(미국), Axus Technology(미국), SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION(일본) 등이 있습니다. 이 기업들은 제품 출시, 인수, 파트너십 등 유기적 및 비유기적 성장 전략을 모두 사용하여 시장에서의 입지를 강화했습니다.
1 서론 (페이지 번호 – 31)
1.1 연구 목표
1.2 시장 정의
1.3 연구 범위
1.3.1 포함 및 제외 사항
1.3.2 대상 시장
1.3.3 지역 범위
1.3.4 고려 된 연도
1.4 고려되는 통화
1.5 패키지 크기
1.6 제한 사항
1.7 이해관계자
1.8 변경 사항 요약
1.9 경기 침체 영향
2 연구 방법론(36페이지)
2.1 연구 데이터
그림 1 웨이퍼 세정 장비 시장: 연구 설계
2.1.1 2차 데이터
2.1.1.1 2차 출처의 주요 데이터
2.1.1.2 주요 2 차 출처
2.1.2 기본 데이터
2.1.2.1 주요 출처의 주요 데이터
2.1.2.2 공급 측면의 주요 연구 참여자
2.1.2.3 1차 인터뷰의 분류
2.1.2.4 주요 산업 인사이트
2.1.3 2 차 및 1 차 연구
2.2 시장 규모 추정
그림 2 시장 규모 추정 방법론: 접근법 1(공급 측면): 웨이퍼 세정 장비 시장의 주요 업체들이 창출한 수익
그림 3 시장 규모 추정 방법론: 접근법 2(공급 측면): 웨이퍼 세정 장비 시장의 주요 플레이어의 수익 추정 그림
그림 4 시장 규모 추정 방법론: 접근법 3(수요 측면) – 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장 규모 추정을 위한 상향식 접근법
2.2.1 상향식 접근법
2.2.1.1 상향식 접근법을 통한 시장 규모 추정
그림 5 시장 규모 추정 방법론: 상향식 접근법
2.2.2 하향식 접근법
2.2.2.1 하향식 접근 방식을 사용한 시장 규모 추정
그림 6 시장 규모 추정 방법론: 하향식 접근법
2.3 시장 점유율 계산
2.4 데이터 삼각 측량
그림 7 데이터 삼각측량
2.5 위험 평가
표 1 위험 요인 분석
2.5.1 경기 침체가 GDP에 미치는 영향
2.6 연구 가정 및 제한 사항
2.6.1 연구 가정
2.6.2 연구 한계
3 임원 요약 (페이지 번호 – 51)
그림 8 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2028년
그림 9 2028년 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 배치 스프레이 세정 시스템
그림 10 예측 기간 동안 웨이퍼 시장을 지배할 300mm 웨이퍼
그림 11 예측 기간 동안 애플리케이션별로 웨이퍼 세정 장비 시장을 주도 할 메모리 장치
그림 12 2023 년부터 2028 년까지 글로벌 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 높은 CAGR을 기록 할 아시아 태평양 지역
4 프리미엄 인사이트 (페이지 번호 – 55)
4.1 웨이퍼 세정 장비 시장에서 플레이어를위한 매력적인 기회
그림 13 향후 몇 년 동안 웨이퍼 세정 장비에 대한 수요를 증가시키는 3D IC의 인기 증가
4.2 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장
그림 14 2023 년 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 배치 스프레이 세정 시스템
4.3 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장
그림 15 2023년 가장 큰 시장 점유율을 차지할 300mm 웨이퍼
4.4 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장
그림 16 2023년 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 메모리 장치
4.5 애플리케이션 및 국가 별 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장
그림 17 메모리 장치와 중국은 2022 년 애플리케이션 및 국가별로 각각 아시아 태평양에서 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지했습니다.
5 시장 개요 (페이지 번호 – 58)
5.1 소개
5.2 시장 역학
그림 18 시장 역학: 웨이퍼 세정 장비 시장
5.2.1 동인
5.2.1.1 다양한 산업 분야에서 MEMS 기술 채택 증가
5.2.1.2 AI 기반 서버에서 뛰어난 속도와 정확성을 갖춘 메모리 장치에 대한 수요 증가
5.2.1.3 전기 자동차의 사용 증가
그림 19 전기 자동차 판매 데이터, 2019-2023년(백만 대)
5.2.1.4 5G 기술 채택 급증
그림 20 5G 모바일 가입, 2019-2028년(백만 대)
그림 21 웨이퍼 세정 장비 시장에 대한 드라이버의 영향 분석
5.2.2 제약
5.2.2.1 웨이퍼 세정 중 유해 화학 물질 배출로 인한 환경 문제
그림 22 웨이퍼 세정 시장에 대한 제약의 영향 분석
5.2.3 기회
5.2.3.1 3D IC의 인기 증가
5.2.3.2 기술적으로 진보 된 반도체 장치의 채택 증가
5.2.3.3 IoT 애플리케이션에서 실리콘 기반 반도체 소자의 채택 증가
그림 23 웨이퍼 세정 장비 시장에 대한 기회 영향 분석
5.2.4 도전 과제
5.2.4.1 전 세계 반도체 팹 시설의 물 부족 가능성
5.2.4.2 엄격한 규제로 인해 미국의 새로운 반도체 팹과 관련된 건설 일정이 길어집니다.
그림 24 웨이퍼 세정 장비 시장에 대한 도전 과제 영향 분석
5.3 공급망 분석
그림 25 웨이퍼 세정 장비 공급망 분석
표 2 생태계 참여자 및 역할
5.4 생태계 매핑
5.4.1 웨이퍼 세정 장비 생태계 분석
그림 26 웨이퍼 세정 장비 생태계
5.4.2 웨이퍼 세정 단계(RCA 클린 공정)
5.4.2.1 첫 번째 단계(SC-1): 유기 및 입자 세정
5.4.2.2 두 번째 단계: 산화물 제거
5.4.2.3 세 번째 단계(SC-2): 이온 세척
5.4.2.4 헹굼 및 건조(옵션 공정)
그림 27 웨이퍼 세정 목표
표 3 웨이퍼 세정 애플리케이션에 사용되는 용액/혼합물/화합물
5.5 기술 동향
5.5.1 피라냐 식각 세정
5.5.2 메가소닉 세정
5.5.3 오존 세정
5.6 지표 가격 분석
표 4 단일 웨이퍼 스프레이 시스템의 표시 가격
표 5 웨이퍼 세정에 사용되는 화학 물질의 표시 가격
5.7 특허 분석
표 6 출원 및 승인된 특허, 2012년 1월~2022년 12월
그림 28 웨이퍼 세정 장비에 대해 부여된 특허 수, 2012-2022년
그림 29 특허 출원 건수가 가장 많은 상위 10개 기업, 2012년 1월~2022년 12월
표 7 상위 20개 특허 보유 기업, 2012년 1월~2022년 12월
5.8 포터의 5가지 힘 분석
그림 30 웨이퍼 세정 장비 시장: 포터의 5가지 힘 분석, 2022년
그림 31 2022년 웨이퍼 세정 장비 시장에 대한 포터의 5가지 힘의 영향 분석
표 8 웨이퍼 세정 장비 시장 : 2022 년 포터의 5 가지 힘 분석
5.8.1 신규 진입자의 위협
5.8.2 대체품의 위협
5.8.3 공급 업체의 협상력
5.8.4 구매자의 협상력
5.8.5 경쟁 경쟁의 강도
5.9 주요 이해관계자 및 구매 기준
5.9.1 구매 과정의 주요 이해관계자
그림 32 웨이퍼 크기별 웨이퍼 세정 장비 구매 프로세스에 대한 이해관계자의 영향력
표 9 웨이퍼 크기별 웨이퍼 세정 장비 구매 프로세스에 대한 이해관계자의 영향(%)
5.9.2 구매 기준
그림 33 웨이퍼 크기별 웨이퍼 세정 장비의 주요 구매 기준
표 10 웨이퍼 크기별 웨이퍼 세정 장비의 주요 구매 기준
5.10 사례 연구
5.10.1 에코 스노우 시스템즈, 오웬스 디자인과 협력하여 불순물 제거를 위한 300mm 웨이퍼 세정 플랫폼 개발
5.10.2 웨이퍼 세정 장비의 선도적 인 공급 업체는 플라즈마 세정을위한 HMI 시스템을 개발하기 위해 TISMO 기술 솔루션과 협력합니다.
5.11 무역 데이터 분석
표 11 주요 국가의 반도체 제조 장비 수출 데이터, 2018-2022 (미화 백만 달러)
그림 34 주요 국가의 반도체 제조 기계 수출액, 2018-2022년
표 12 주요 국가의 반도체 제조 기계 수입 데이터, 2018-2022 (USD 백만)
그림 35 주요 국가의 반도체 제조 기계 수입액, 2018-2022년
5.12 관세 및 규제 환경
5.12.1 관세
표 13 우리가 수출하는 반도체 제조 장비에 대한 MFN 관세
5.12.2 규제 기관, 정부 기관 및 기타 조직
5.12.2.1 북미
5.12.2.2 유럽
5.12.2.3 아시아 태평양
5.12.2.4 RoW
5.12.3 규정
5.12.4 표준
5.13 고객 비즈니스에 영향을 미치는 트렌드/중단 사태
그림 36 웨이퍼 세정 장비 시장의 수익 변화 및 새로운 수익 포켓
5.14 주요 컨퍼런스 및 이벤트, 2023-2024년
표 14 웨이퍼 세정 장비 시장: 컨퍼런스 및 이벤트 목록
6 웨이퍼 세정 장비의 작동 모드(페이지 번호 – 86)
6.1 소개
6.2 자동
6.3 반자동
6.4 수동
7 웨이퍼 클리닝에 사용되는 기술 및 프로세스 (페이지 번호 – 87)
7.1 소개
7.2 습식 화학 세정
그림 37 습식 화학 세정 공정
7.2.1 습식 세정 공정에서 HF 산 용액 사용
7.2.2 습식 세정 공정에서 황산 사용
7.2.3 RCA 세척 공정
7.2.4 대체 청소 프로세스
7.3 증기 드라이 클리닝
7.3.1 증기상 세척
7.3.2 플라즈마 스트리핑 청소
7.4 수성 세정
그림 38 표준 웨이퍼 세정 공정
7.4.1 수성 페올 세정
7.4.2 수성 베올 세정
7.5 극저온 에어로졸 및 초임계 유체 세정
7.6 신흥 기술
7.6.1 레이저 클리닝 기술
7.6.1.1 건식 레이저 청소
7.6.1.2 증기 레이저 청소
7.6.2 수성 기반 신흥 기술
7.6.2.1 폼 / 버블 청소
7.6.2.2 침수 압력 맥동 청소
7.6.2.3 스프레이 압력 맥동 청소
7.6.3 화학 기반 신흥 기술
7.6.4 건식 입자 제거 기술
7.6.4.1 액체 클러스터
7.6.4.2 비 프로브 청소
8 웨이퍼 세정 공정 및 장비의 불순물 분석 (페이지 번호 – 93)
8.1 소개
표 15 오염물질 유형별 웨이퍼에 대한 불순물의 영향
8.2 금속
8.3 미립자
8.4 화학 물질
9 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장(페이지 번호 – 96)
9.1 소개
그림 39 예측 기간 동안 가장 높은 CAGR을 기록할 300mm 웨이퍼
표 16 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 17 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2023-2028년(백만 평방인치)
9.2 ≤150mm
9.2.1 더 작은 직경의 웨이퍼 채택에 부정적인 영향을 미치는 더 큰 직경의 웨이퍼의 출현
표 18 ≤150mm: 애플리케이션별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 19 ≤150mm: 애플리케이션별 웨이퍼 시장, 2023-2028년(백만 평방인치)
9.3 200mm
9.3.1 생산 효율성과 수율의 균형을 맞추기 위해 200mm 웨이퍼의 채택 증가로 시장 주도
표 20 200mm: 애플리케이션별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 21 200mm: 애플리케이션별 웨이퍼 시장, 2023-2028년(백만 평방인치)
9.4 300mm
9.4.1 메모리 칩 및 IC의 채택을 촉진하는 첨단 제조 기술을 촉진하는 300mm 웨이퍼의 능력
그림 40 2028년 300mm 웨이퍼 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 40개 메모리 디바이스
표 22 300mm: 애플리케이션별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 23 300mm: 애플리케이션별 웨이퍼 시장, 2023-2028년(백만 평방인치)
10 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장(페이지 번호 – 103)
10.1 소개
표 24 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
그림 41 2028년 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 배치 스프레이 세정 시스템
표 25 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(미화 백만 달러)
10.2 단일 웨이퍼 세정 시스템
10.2.1 시장을 주도하기 위해 최소한의 손상으로 웨이퍼를 효율적으로 청소하는 단일 웨이퍼 청소 시스템의 기능
표 26 단일 웨이퍼 스프레이 시스템: 웨이퍼 세정 장비 시장, 애플리케이션별, 2019-2022년(미화 백만 달러)
그림 42 예측 기간 동안 단일 웨이퍼 스프레이 시스템 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 메모리 장치
표 27 단일 웨이퍼 스프레이 시스템: 응용 분야별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년 (미화 백만 달러)
10.3 단일 웨이퍼 극저온 시스템
10.3.1 단일 웨이퍼 극저온 시스템의 채택을 촉진하기 위해 초저온에서 오염 물질을 제거 할 수있는 잠재력
표 28 단일 웨이퍼 극저온 시스템: 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
그림 43 2028년 단일 웨이퍼 극저온 시스템 시장을 지배할 메모리 디바이스
표 29 단일 웨이퍼 극저온 시스템: 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(미화 백만 달러)
10.4 배치 침지 세정 시스템
10.4.1 배치 침지 세정 시스템의 배포를 촉진하기 위해 여러 웨이퍼를 동시에 세정하는 숙련도
표 30 배치 침지 세정 시스템 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
그림 44 예측 기간 동안 배치 침지 시스템 시장에서 가장 높은 CAGR을 보이는 MEMS 장치
표 31 배치 침지 세정 시스템: 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
10.5 배치 스프레이 세정 시스템
10.5.1 배치 스프레이 세척 시스템의 구현을 증가시키기 위해 높은 처리량으로 대량 배치를 처리하는 역량
표 32 배치 스프레이 세정 시스템: 웨이퍼 세정 장비 시장, 애플리케이션별, 2019-2022년(미화 백만 달러)
그림 45는 예측 기간 동안 배치 스프레이 클리닝 시스템 시장에서 두 번째로 높은 연평균 성장률을 보일 것으로 예상됩니다.
표 33 배치 스프레이 클리닝 시스템: 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
10.6 스크러버
10.6.1 웨이퍼의 작은 입자를 제거하여 스크러버에 대한 수요를 촉진하는 기능
표 34 스크러버: 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
그림 46 예측 기간 동안 스크러버 시장에서 가장 높은 캐가를 기록 할 MEMS 장치
표 35 스크러버: 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 년 (USD 백만)
11 웨이퍼 세정 장비 시장, 애플리케이션별 (페이지 번호 – 116)
11.1 소개
표 36 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 년 (USD 백만)
그림 47 예측 기간 동안 웨이퍼 세정 장비 시장을 지배 할 메모리 장치
표 37 웨이퍼 세정 장비 시장, 애플리케이션 별, 2023-2028 (USD 백만)
표 38 애플리케이션 별 웨이퍼 시장, 2019-2022 년 (백만 평방 인치)
표 39 애플리케이션 별 웨이퍼 시장, 2023-2028 년 (백만 평방 인치)
11.2 경쟁사 분석
11.3 MEMS 장치
11.3.1 시장을 주도하기 위해 소비자 가전 제조업체의 MEMS 장치에 대한 높은 수요
표 40 MEMS 장치: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 (미화 백만 달러)
표 41 MEMS 장치: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 년 (USD 백만)
표 42 MEMS 장치: 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 (USD 백만)
표 43 MEMS 장치: 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2023-2028 (USD 백만)
표 44 MEMS 장치: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 년 (USD 백만)
그림 48 예측 기간 동안 MEMS 애플리케이션을위한 웨이퍼 세정 장비 시장을 주도하는 단일 웨이퍼 스프레이 시스템
표 45 MEMS 장치: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년 (미화 백만 달러)
표 46 MEMS 장치: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022 년 (백만 평방 인치)
표 47 MEMS 장치: 웨이퍼 시장, 웨이퍼 크기별, 2023-2028년(백만 평방인치)
11.4 CIS
11.4.1 항공 우주 및 의료 이미징 애플리케이션에서 CMOS 이미지 센서의 채택 증가로 웨이퍼 세정 장비에 대한 수요 증가
표 48 CIS: 지역별 웨이퍼 세정 장비, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 49 CIS: 지역별 웨이퍼 클리닝 장비, 2023-2028년(백만 달러)
표 50 CIS : 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 년 (USD 백만)
표 51 CIS : 국가 별 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 년 (USD 백만)
표 52 CIS : 웨이퍼 세정 장비 시장 장비 유형, 2019-2022 (USD 백만)
그림 49 2030 년 CIS 애플리케이션 용 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 배치 스프레이 세정 시스템
표 53 CIS: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(백만 달러)
표 54 CIS: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 55 CIS: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2023-2028년(백만 평방인치)
11.5 메모리 장치
11.5.1 시장 성장을 지원하기 위해 소비자 가전제품에 낸드 플래시 메모리 칩의 배치 증가
표 56 메모리 디바이스: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 57 메모리 장치: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(백만 달러)
표 58 메모리 장치: 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 년 (USD 백만)
표 59 메모리 장치: 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2023-2028 (USD 백만)
표 60 메모리 장치: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년 (USD 백만)
그림 50 2023년부터 2028년까지 메모리 장치용 웨이퍼 세정 장비 시장을 주도할 단일 웨이퍼 스프레이 시스템
표 61 메모리 장치: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(미화 백만 달러)
표 62 메모리 장치: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 63 메모리 장치: 웨이퍼, 웨이퍼 크기별, 2023-2028년(백만 평방인치)
11.6 RF 디바이스
11.6.1 시장 성장에 기여하기 위해 스마트 폰에 RF 장치의 통합 증가
표 64 RF 디바이스: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 65 RF 장치: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(백만 달러)
표 66 RF 장치: 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 년 (USD 백만)
표 67 RF 장치: 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2023-2028 (USD 백만)
표 68 RF 장치: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 (USD 백만)
그림 51 2028 년 RF 장치 용 웨이퍼 세척 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 배치 침지 세척 시스템
표 69 RF 장치: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년 (미화 백만 달러)
표 70 RF 디바이스: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방 인치)
표 71 RF 장치: 웨이퍼 시장, 웨이퍼 크기별, 2023-2028년(백만 평방인치)
11.7 LED
11.7.1 스마트 조명 시스템에서 LED 사용 증가로 웨이퍼 세정 장비에 대한 수요 증가
표 72 LED: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 73 LED: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(미화 백만 달러)
표 74 LED: 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 년 (USD 백만)
표 75 LEDS: 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2023-2028 년 (USD 백만)
표 76 LEDS: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년 (USD 백만)
그림 52 2028년 LED용 웨이퍼 세정 장비 시장 점유율 대부분을 차지할 배치 스프레이 세정 시스템
표 77 LED: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년 (미화 백만 달러)
표 78 LED: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 79 LED: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2023-2028년(백만 평방인치)
11.8 인터포저
11.8.1 세그먼트 성장을 주도하는 고급 패키징 솔루션에 대한 수요 급증
표 80 인터포저: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 81 인터포저: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 년 (USD 백만)
표 82 인터포저: 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 (USD 백만)
표 83 인터포저: 국가 별 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 년 (USD 백만)
표 84 인터포저: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 년 (USD 백만)
그림 53 2028 년 인터포저에서 가장 큰 시장 점유율을 차지할 배치 스프레이 세정 시스템
표 85 인터포저: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(미화 백만 달러)
표 86 인터포저: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 87 인터포저: 웨이퍼 시장, 웨이퍼 크기별, 2023-2028년(백만 평방 인치)
11.9 로직 디바이스
11.9.1 시장 성장을 가속화하기 위해 마이크로 프로세서, 마이크로 컨트롤러 및 그래픽 칩에 로직 소자 배치 증가
표 88 로직 디바이스 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 89 로직 디바이스: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년(백만 달러)
표 90 로직 디바이스: 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 (USD 백만)
표 91 로직 디바이스: 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2023-2028 (USD 백만)
표 92 로직 디바이스: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 (USD 백만)
그림 54 2028년 로직 디바이스용 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 큰 점유율을 차지할 배치 스프레이 세정 시스템
표 93 로직 디바이스 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년 (미화 백만 달러)
표 94 로직 디바이스: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 95 로직 디바이스: 웨이퍼 시장, 웨이퍼 크기별, 2023-2028년(백만 평방인치)
11.1 기타
표 96 기타: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 97 기타: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 년 (백만 달러)
표 98 기타: 아시아 태평양 지역의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2019-2022 년 (USD 백만)
표 99 기타: 아시아 태평양의 웨이퍼 세정 장비 시장, 국가 별, 2023-2028 (USD 백만)
표 100 기타: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 년 (USD 백만)
그림 55 2023년부터 2028년까지 기타 애플리케이션용 웨이퍼 세정 장비 시장을 지배할 배치 스프레이 세정 시스템
표 101 기타: 장비 유형별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028년 (미화 백만 달러)
표 102 기타: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2019-2022년(백만 평방인치)
표 103 기타: 웨이퍼 크기별 웨이퍼 시장, 2023-2028년(백만 평방인치)
12 웨이퍼 세정 장비 시장, 지역별 (페이지 번호 – 147)
12.1 소개
그림 56 2023 년부터 2028 년까지 글로벌 웨이퍼 세정 장비 시장에서 가장 높은 CAGR을 보일 중국
표 104 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 년 (미화 백만 달러)
표 105 웨이퍼 세정 장비 시장, 지역별, 2023-2028 년 (백만 달러)
12.2 북미
그림 57 북미: 지역 스냅샷
표 106 북미 : 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 (USD 백만)
표 107 북미 : 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
표 108 북미 : 국가 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 년 (USD 백만)
표 109 북미 : 국가 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
12.2.1 북미 : 경기 침체 영향
12.2.2 미국
12.2.2.1 시장 성장을 주도하는 인텔 및 글로벌 파운드리와 같은 제조 대기업의 존재
12.2.3 캐나다
12.2.3.1 시장 성장을 지원하기 위해 전기 자동차 사용을 촉진하는 정부 주도 이니셔티브
12.2.4 멕시코
12.2.4.1 시장 성장을 촉진하는 번성하는 통신 및 에너지 부문
12.3 유럽
그림 58 유럽 지역 스냅샷
표 110 유럽: 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 111 유럽: 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
표 112 유럽: 국가 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 (USD 백만)
표 113 유럽: 국가 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
12.3.1 유럽: 경기 침체 영향
12.3.2 독일
12.3.2.1 시장을 주도하는 실리콘 파운드리 및 칩 제조업체의 존재
12.3.3 프랑스
12.3.3.1 시장 성장을 촉진하기위한 첨단 통신 네트워크 기술 개발에 대한 관심 증가
12.3.4 이탈리아
12.3.4.1 시장 성장을 지원하기위한 제조 공장 및 OSAT 회사의 존재
12.3.5 영국
12.3.5.1 시장 성장에 기여하는 전자 시스템에 대한 수요 증가
12.3.6 유럽의 나머지 지역
12.4 아시아 태평양
그림 59 아시아 태평양 지역 스냅 샷
표 114 아시아 태평양: 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(백만 달러)
표 115 아시아 태평양 : 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
표 116 아시아 태평양 : 국가 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 (USD 백만)
표 117 아시아 태평양 : 국가 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
12.4.1 아시아 태평양: 경기 침체 영향
12.4.2 대만
12.4.2.1 시장 성장을 촉진하는 여러 거대 OSAT 공급 업체의 존재
12.4.3 중국
12.4.3.1 시장 성장을 가속화하기 위해 메모리 및 칩 기술의 자립을 달성하는 데 중점을 둡니다.
12.4.4 일본
12.4.4.1 시장 성장을 촉진하는 저명한 웨이퍼 세정 장비 제조업체의 존재
12.4.5 대한민국
12.4.5.1 시장 성장을 지원하기 위해 반도체 산업의 성장을 촉진하기위한 정부 전략
12.4.6 나머지 아시아 태평양 지역
12.5 기타 지역(행)
표 118 행 애플리케이션별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022년(미화 백만 달러)
표 119 행: 애플리케이션 별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
표 120 행: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2019-2022 (USD 백만)
표 121 행: 지역별 웨이퍼 세정 장비 시장, 2023-2028 (USD 백만)
12.5.1 ROW: 경기 침체 영향
12.5.2 남미
12.5.2.1 시장 성장을위한 소비자 전자 제품에 대한 수요 증가
12.5.3 중동 및 아프리카
12.5.3.1 시장 성장에 기여하는 연결된 장치의 사용 증가와 자동차 산업의 호황
13 경쟁 환경 (페이지 번호 – 166)
13.1 개요
13.2 시장 평가 프레임워크
그림 60 2021 년부터 2023 년까지 웨이퍼 세정 장비 시장의 주요 업체들이 수행하는 주요 전략
13.3 시장 점유율 및 순위 분석
표 122 웨이퍼 세정 장비 시장 점유율 분석, 2022년
그림 61 웨이퍼 세정 장비를 제공하는 상위 5 개 업체의 시장 점유율
13.4 5개년 기업 수익 분석
그림 62 주요 기업의 5개년 수익 분석
13.5 기업 평가 매트릭스, 2022년
그림 63 웨이퍼 세정 장비 시장 (글로벌) : 2022 년 회사 평가 매트릭스
13.5.1 STARS
13.5.2 신흥 리더
13.5.3 퍼베이시브 플레이어
13.5.4 참가자
13.6 웨이퍼 세정 장비 시장 : 회사 발자국
표 123 전체 기업 발자국(10개 기업)
표 124 애플리케이션 풋프린트(10개사)
표 125 지역 풋프린트(10개사)
13.7 스타트업/SME 평가 매트릭스, 2022년
그림 64 웨이퍼 세정 장비(글로벌): 스타트업/SME 평가 매트릭스, 2022년
13.7.1 진보적인 기업
13.7.2 반응 형 기업
13.7.3 역동적 인 기업
13.7.4 시작 블록
13.8 경쟁 벤치마킹
표 126 웨이퍼 세정 장비 시장 : 주요 스타트 업 / SME 목록
표 127 웨이퍼 세정 장비 시장 : 주요 스타트 업 / SME의 경쟁 벤치마킹
13.9 경쟁 시나리오
13.9.1 제품 출시
표 128 제품 출시, 2022년 12월~2023년 1월
13.9.2 거래
표 129 거래, 2022년 7월-2023년 7월
표 130 기타, 2021년 11월~2023년 5월
14 회사 프로필 (페이지 번호 – 183)
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